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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：弹性波装置100具备支承基板10和在该支承基板10上相邻地形成的谐振部12、13。谐振部12、13各自包含：压电薄膜20；IDT电极40，配置在压电薄膜20上；和支承层30，配置为在俯视弹性波装置100的情况下包围压电薄膜20的周围。支承层30具有与压电薄膜20不同的线膨胀系数。谐振部12的压电薄膜和谐振部13的压电薄膜被处于谐振部12与谐振部13之间的支承层30分割。通过这样的结构，能够提高在公共的支承基板上形成了多个弹性波谐振器的弹性波装置中的TCF特性。
主权项：1.一种弹性波装置，具备：支承基板；和第1谐振部以及第2谐振部，在所述支承基板上彼此相邻地形成，所述第1谐振部以及所述第2谐振部各自包含：压电薄膜；IDT电极，即，叉指换能器电极，配置在所述压电薄膜上；和支承层，配置为在俯视所述弹性波装置的情况下包围所述压电薄膜的周围，具有与所述压电薄膜不同的线膨胀系数，所述第1谐振部的压电薄膜和所述第2谐振部的压电薄膜被处于所述第1谐振部与所述第2谐振部之间的支承层分割，在俯视所述弹性波装置的情况下，所述第1谐振部的支承层配置为包围所述第1谐振部的压电薄膜的周围，所述第2谐振部的支承层配置为包围所述第2谐振部的压电薄膜的周围。
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