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申请/专利权人：恩特格里斯公司
摘要：本发明涉及一种静电卡盘，其通过在升高凸起上提供导电路径来解决晶片粘附的问题，所述升高凸起桥接在一起且连接到接地以便将晶片衬底支撑在所述静电卡盘的表面上面。此外，横向隔开的电极图案以及远离所述升高凸起横向且纵向隔开的电极元件减少或消除晶片夹持期间在经导电涂覆凸起与所述电极元件之间的电耦合，借此形成用于使在解除夹持之后保持在所述晶片上的电荷迅速地行进到接地的低电阻路径。导电桥及电极图案配置还大体上减少或消除在夹持期间堆积于所述导电桥上的任何电荷，以便使堆积于“岛状部”主磁场区域的绝缘体层的磨损部分中的电荷不影响从所述晶片衬底穿过所述导电桥到接地的电荷耗散。
主权项：1.一种静电卡盘组合件，其经配置以在其上支撑晶片衬底，所述卡盘组合件包括：表面，其包含主磁场区域；绝缘材料，其包括：第一绝缘体层，其具有在所述主磁场区域的周围部分上面延伸的多个凸起；及绝缘材料的一或多个间隙部分，其安置于所述凸起之间，其中所述多个凸起从所述静电卡盘的外侧边缘横向地向内安置，其中所述凸起中的每一者具有导电涂层，使得导体涂覆的凸起形成跨越多组所述凸起电耦合到接地的一或多个导电桥，其中多个导体涂覆的凸起经配置以将晶片衬底支撑在所述主磁场上方及所述静电卡盘的所述外侧边缘上面，第一电极图案安置于所述第一绝缘体层下方，所述第一电极图案具有纵向地位于绝缘材料的所述间隙部分下方且横向地位于凸起的所述导电桥之间的电极元件，其中所述导体涂覆的凸起的远端部分不在所述电极元件上方横向地延伸，以便形成纵向空隙，从而防止在所述第一电极图案通电后所述电极图案与所述导电桥之间的电耦合；及绝缘主体，其经配置以支撑所述第一电极图案及具有所述导体涂覆的凸起的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恩特格里斯公司 具有电荷耗散涂层的静电卡盘
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