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申请/专利权人：苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司
摘要：本发明公开了一种火焰水解法沉积设备，包括机架本体，该机架本体内设有沉积仓，该沉积仓内固定安装有水解火焰喷枪和用于载料的旋转载台，该旋转载台上固定安装有若干环形阵列排布的自动调节载料台，该自动调节载料台包括固定支撑柱，载料盘，旋转电机，旋转传动装置，同步调节装置和同步调节电机，本发明通过可调节的载料台实现载料盘内的产品形成摇晃摆动，使其表面的沉积层更加均匀。
主权项：1.一种火焰水解法沉积设备，包括机架本体1，该机架本体1内设有沉积仓2，该沉积仓2内固定安装有水解火焰喷枪3和用于载料的旋转载台4，该旋转载台4上固定安装有若干环形阵列排布的自动调节载料台5，其特征在于：所述自动调节载料台5包括固定支撑柱51，载料盘52，旋转动力装置，旋转传动装置54和同步调节装置55，该固定支撑柱51固定安装在旋转载台4上，该固定支撑柱51的上端固定连接有浮动连接组件6，该浮动连接组件6的另一端与载料盘52下端面固定连接，该固定支撑柱51上滑动套装有旋转传动装置54，该旋转传动装置54下端连接有旋转动力装置，该旋转传动装置54与载料盘52下端面固定连接，该旋转传动装置54上固定安装有同步调节装置55；所述旋转传动装置54包括主支撑旋转套56，支撑旋转板57，第一旋转连接环58和第二旋转连接环59，该主支撑旋转套56上固定安装有支撑旋转板57，该支撑旋转板57上固定安装有两个对称排布的旋转连接套50，该旋转连接套50固定安装在第一旋转连接环58内环面上，该旋转连接套50内连接有同步调节装置55，该同步调节装置55的上端固定安装有浮动连接头7，该浮动连接头7的另一端与第二旋转连接环的内环面固定连接；所述同步调节装置55包括调节螺杆61，调节螺纹套62，调节同步电机63和浮动连接头7，该调节螺杆61的一端与调节同步电机63的输出端固定连接，该调节螺纹套62的一端固定开设有螺纹孔，该调节螺杆61的一端外环面上固定设有外螺纹，该调节螺杆61设有外螺纹的一端旋入螺纹孔与调节螺纹套62连接，该调节螺纹套62通过浮动连接头7与旋转传动装置54连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司 一种火焰水解法沉积设备
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