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申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：可接收图样的参考图像和图样的捕获图像。可识别图样的感兴趣的轮廓。可对每一参考图像和捕获图像针对图样的感兴趣轮廓，判定图样的尺寸的一个或多个测量结果。可基于对每一参考图像和捕获图像所判定的图样尺寸的一个或多个测量结果，来分类相关联于感兴趣轮廓的缺陷。
主权项：1.一种判定图样的临界尺寸变化的方法，包含以下步骤：接收图样的捕获图像；接收所述图样的参考图像；识别所述图样的感兴趣轮廓；由处理装置对于所述参考图像和所述捕获图像的每一个，针对所述图样的所述感兴趣轮廓判定所述图样的尺寸的一个或多个测量结果，其中判定所述图样的所述尺寸的所述一个或多个测量结果进一步包含以下步骤：判定第一多个测量结果,所述第一多个测量结果的每一个对应于从图样的特定点到沿着所述捕获图像中的所述图样的所述感兴趣轮廓的各别点的距离；和判定第二多个测量结果，所述第二多个测量结果的每一个对应于从所述图样的特定点到沿着所述参考图像中的所述图样的所述感兴趣轮廓的各别点的距离；和基于对于所述参考图像和所述捕获图像的每一个所判定的所述图样的所述尺寸的一个或多个测量结果，分类相关联于所述感兴趣轮廓的缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 判定图样的临界尺寸变化
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