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申请/专利权人：山东粤海金半导体科技有限公司;成都粤海金半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台，涉及碳化硅单晶晶片加工技术领域，包括多爪卡盘、粘接平台和载重物，粘接平台为圆柱体，其底部中心处开设有定位孔；多爪卡盘水平设置，其卡盘体中心处设有与粘接平台适配的安装槽；粘接平台放置在安装槽内，粘接时，碳化硅晶体通过石蜡粘接在粘接平台上，多爪卡盘的卡爪与碳化硅晶体的侧壁接触使碳化硅晶体与粘接平台同轴设置，载重物放置在碳化硅晶体的顶部；还包括用于给多爪卡盘、粘接平台和碳化硅晶体调温的加热台和降温台；本装置结构简单，实用性强，通过多爪卡盘的夹持可实现碳化硅晶体与粘接平台同轴设置，从而实现碳化硅晶体的快速找中心与晶体快速磨削加工。
主权项：1.一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台，其特征在于：包括多爪卡盘、粘接平台和载重物，所述粘接平台为圆柱体，其底部中心处开设有定位孔；所述多爪卡盘水平设置，其卡盘体中心处设有与粘接平台适配的安装槽；所述粘接平台放置在安装槽内，粘接时，碳化硅晶体通过石蜡粘接在粘接平台上，多爪卡盘的卡爪与碳化硅晶体的侧壁接触使碳化硅晶体与粘接平台同轴设置，载重物放置在碳化硅晶体的顶部。
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百度查询： 山东粤海金半导体科技有限公司 成都粤海金半导体材料有限公司 一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台
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