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申请/专利权人：天津纳微机器人科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台，包括行程输入模块、纳米级调节模块、底板及立式基板，行程输入模块和纳米级调节模块设于立式基板两侧，行程输入模块由粗调微分头输入位移，输入模块包括传动构件、传动凸杆、微米级动平台及竖向滚子滑板，纳米级调节模块由精调微分头输入位移，纳米级调节模块包括纳米级动平台和柔性铰链机构，微米级动平台与竖向滚子滑板连接；该位移平台集成微米级行程输入模块和纳米级调节模块，可实现微米级粗调和纳米级精调，精调时利用行程输入模块将待测物以微米级步长靠近目标位置，再经纳米级调节模块微调，使待测物与目标间误差为纳米级，实现低成本得纳米级分辨率位移控制。
主权项：1.一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台，其特征在于：包括行程输入模块、纳米级调节模块、底板以及立式基板，所述立式基板竖直固定设于所述底板上，所述行程输入模块与所述纳米级调节模块连接，并分别设置于所述立式基板的两侧，其中；所述行程输入模块由粗调微分头输入实现微米级位移行程，所述输入模块包括传动构件、传动凸杆、微米级动平台以及竖向滚子滑板，所述粗调微分头水平设置并输入水平方向微米位移，驱动所述传动构件运动，所述传动凸杆竖直设置并固定安装于所述微米级动平台中部的正下方，所述传动构件驱动连接所述传动凸杆，用于将水平方向位移转化为所述微米级动平台Z向的微米位移；所述微米级动平台设置于所述竖向滚子滑板的一侧上方，并与所述竖向滚子滑板的上端面固定连接，所述立式基板的一侧平面上设置有滚子组件，所述竖向滚子滑板由所述滚子组件导向和约束，沿所述立式基板竖直滑动，用于导向所述微米级动平台的调节；所述纳米级调节模块由精调微分头输入实现纳米级位移调节，所述纳米级调节模块包括纳米级动平台和柔性铰链机构，所述纳米级动平台由位于其正下方的所述柔性铰链机构支撑和驱动，所述柔性铰链机构固定设置于所述竖向滚子滑板的另一侧侧面上，用于将所述行程输入模块的微米级位移同步至所述纳米级动平台，所述精调微分头水平设置，驱动连接所述柔性铰链机构，所述柔性铰链机构用于将水平位移转化为所述纳米级动平台的纳米级Z向位移。
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权利要求：
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