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申请/专利权人：格物感知(苏州)科技有限公司
摘要：本实用新型公开了MEMS焊线真空固定治具，包括底板，所述底板上端面设置有若干放置槽，所述放置槽包括底面与侧壁，所述底板内设置有矩形腔体，所述底板上还设置有与矩形腔体导通的一号气道以及二号气道，所述一号气道的二号气口与矩形腔体导通，一号气道的一号气设置在底板下端面，所述二号气道的一号气口与矩形腔体导通，二号气道的二号气口设置在放置槽底面。优点：够实现对MEMS在焊接时实现无压板作业，防止产品表面受到压力造成压伤、划痕、变形等导致封盖不良的问题。
主权项：1.MEMS焊线真空固定治具，包括底板1，其特征在于：所述底板1上端面设置有若干放置槽2，所述放置槽2包括底面与侧壁，所述底板1内设置有矩形腔体3，所述底板1上还设置有与矩形腔体3导通的一号气道4以及二号气道5，所述一号气道4的一端开口与矩形腔体3导通，一号气道4的另一端开口设置在底板1下端面，所述二号气道5的一端开口与矩形腔体3导通，二号气道5的另一端开口设置在放置槽2底面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 格物感知(苏州)科技有限公司 MEMS焊线真空固定治具
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