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申请/专利权人：深圳职业技术大学;深圳市康乐态原科技企业
摘要：本发明公开了一种真空微波设备和对真空微波设备的控制方法，本发明的真空微波设备的磁控管产生的微波信号经过直径渐变的波导装置传入真空腔体内形成微波能量，有助于减少微波放电的现象发生；而设于真空腔体的电磁感应组件能够检测真空腔体内的微波能量状况，并将微波能量状况相关的第一信号传输给控制装置，最后控制装置根据第一信号来控制匀场装置工作，通过控制匀场装置工作来改变真空腔体内的微波能量分布，且能消除微波放电现象，进而实现了提高波导使用功率的同时，又能规避放电情况的技术效果。
主权项：1.一种真空微波设备，其特征在于，所述真空微波设备包括、磁控管1、波导装置2、匀场装置3、真空微波连接装置4、控制装置、真空腔体5、电磁感应组件6；所述磁控管1布设于所述波导装置2的入口位置；所述波导装置2的出口位置与真空微波连接装置4连接，所述真空微波连接装置4用于建立所述波导装置2与所述真空腔体5之间的通道；所述波导装置2为直径在第一方向上渐变的结构，所述第一方向为由所述波导装置2的入口位置沿所述出口位置延伸的方向；所述匀场装置3设于所述波导装置2内部；所述电磁感应组件6布设于所述真空腔体5的外壁，且所述电磁感应组件6与所述控制装置电性连接；其中，所述磁控管1，用于向所述真空腔体5发射微波；所述电磁感应组件6，用于检测所述真空腔体5内的微波能量状况，将检测到的第一信号传输至所述控制装置，所述第一信号表征所述真空腔体5内的微波能量状况；所述控制装置，用于根据所述第一信号来控制所述匀场装置3工作，以改变所述真空腔体5内的微波能量分布。
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权利要求：
百度查询： 深圳职业技术大学 深圳市康乐态原科技企业 一种真空微波设备以及对真空微波设备的控制方法
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