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申请/专利权人：上海探跃半导体设备有限公司
摘要：本实用新型属于掩膜版检测技术领域，尤其涉及一种承载盘及检测设备。该承载盘包括盘体、容置槽和第一吸气孔，容置槽设于盘体上，掩膜版置于容置槽内并与容置槽的侧壁抵接，容置槽的侧壁能限制掩膜版沿水平方向产生位移；第一吸气孔设于容置槽的承载面上，第一吸气孔能吸附掩膜版，以限制掩膜版沿竖直方向产生位移。容置槽的侧壁与第一吸气孔共同作用，解决了现有技术中旋转承载盘的过程中，掩膜版会产生相对位移的问题，提高了掩膜版的检测效率及检测结果的准确性。
主权项：1.承载盘，其特征在于，包括：盘体10；容置槽20，所述容置槽20设于所述盘体10上，掩膜版置于所述容置槽20内并与所述容置槽20的侧壁抵接，所述容置槽20的侧壁能限制所述掩膜版沿水平方向产生位移；第一吸气孔30，所述第一吸气孔30设于所述容置槽20的承载面上，所述第一吸气孔30能吸附所述掩膜版，以限制所述掩膜版沿竖直方向产生位移。
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权利要求：
百度查询： 上海探跃半导体设备有限公司 承载盘及检测设备
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