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申请/专利权人:安徽仕净光能科技有限公司
摘要:本实用新型涉及硅片炉管技术领域,具体涉及一种N型硅片炉管的检漏装置,包括:底座和炉管本体,所述炉管本体用于N型硅片的成型,所述底座上端固定连接有水箱;捡漏机构,所述捡漏机构包括固定连接在底座上端的四个多级液压油缸,四个所述多级液压油缸活动端共同固定连接有环形框,所述环形框套设在水箱外,所述环形框上端通过滑动机构连接有两个L型板。本实用新型中两个L型板带动炉管本体进入水箱中,可以准确的观察炉管本体处的漏气位置,避免现有技术中通过耳听盖门与炉管之间的连接处是否存在冒气的声音,这导致在实际作业过程中,如果冒气位置较多,很容易对个别冒气位置的确定遗漏,从而影响后续N型硅片成型时的质量。
主权项:1.一种N型硅片炉管的检漏装置,其特征在于,包括:底座1和炉管本体3,所述炉管本体3用于N型硅片的成型,所述底座1上端固定连接有水箱2;捡漏机构,所述捡漏机构包括固定连接在底座1上端的四个多级液压油缸4,四个所述多级液压油缸4活动端共同固定连接有环形框5,所述环形框5套设在水箱2外,所述环形框5上端通过滑动机构连接有两个L型板6,两个所述L型板6远离环形框5的侧壁位于水箱2内,两个所述L型板6位于环形框5内的侧壁分别固定连接有两个弧形安装板7,两个所述弧形安装板7之间连接有多个第一螺栓8。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 安徽仕净光能科技有限公司 一种N型硅片炉管的检漏装置
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