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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：弹性波装置具备多个弹性波谐振器。多个弹性波谐振器各自包含支承基板、设置在支承基板上的压电体层、以及设置在压电体层上的功能电极。支承基板具有空洞部，该空洞部设置于在作为支承基板和压电体层的层叠方向的第1方向上与功能电极的一部分重叠的位置。空洞部与开口连接，该开口位于支承基板的与压电体层对置的部分。多个弹性波谐振器包含第1谐振器、以及功能电极的交叉宽度比第1谐振器大的第2谐振器。在沿着第1方向以及作为弹性波谐振器内的电流流动的方向的第2方向的剖面中，若将构成空洞部中的与开口的第2方向的一端连接的部分的支承基板和压电体层所成的角设为锥角，则第1谐振器的锥角比第2谐振器的所述锥角大。
主权项：1.一种弹性波装置，具备多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器各自包含：支承基板；压电体层，设置在所述支承基板上；以及功能电极，设置在所述压电体层上，所述支承基板具有空洞部，该空洞部设置于在作为所述支承基板和所述压电体层的层叠方向的第1方向上与所述功能电极的一部分重叠的位置，所述空洞部与开口连接，该开口位于所述支承基板的与所述压电体层对置的部分，其中，所述多个弹性波谐振器包含第1谐振器、以及所述功能电极的交叉宽度比所述第1谐振器大的第2谐振器，在沿着所述第1方向以及作为所述弹性波谐振器内的电流流动的方向的第2方向的剖面中，若将构成所述空洞部中的与所述开口的所述第2方向的一端连接的部分的所述支承基板和所述压电体层所成的角设为锥角，则所述第1谐振器的所述锥角比所述第2谐振器的所述锥角大。
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