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体弹性波滤波器装置 

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申请/专利权人:日东电工株式会社

摘要:本发明提供一种散热性良好的体弹性波滤波器装置。体弹性波滤波器装置包括:声响多层膜,其在支撑基板上,由具有规定的比声阻抗的第一层及具有比第一层低的比声阻抗的第二层交替层叠而成;主动组件,其被设置在该声响多层膜的与该支撑基板相反一侧。该主动组件包括设置在该声响多层膜上的第一电极层、设置在该第一电极层上的压电层、及设置在该压电层上的第二电极层,该声响多层膜的一部分或全部具有导电性,在该声响多层膜与该第一电极层之间设置有绝缘层。作为优选的结构例,具有导电性的该第二层具有1.0×10^‑3Ωcm以下的电阻率。

主权项:1.一种体弹性波滤波器装置,其特征在于,包括:声响多层膜,在支撑基板上,由具有规定的比声阻抗的第一层及具有比第一层低的比声阻抗的第二层交替层叠而成;及主动组件,被设置在所述声响多层膜的与所述支撑基板相反一侧,所述主动组件包括设置在所述声响多层膜上的第一电极层、设置在所述第一电极层上的压电层、及设置在所述压电层上的第二电极层,所述声响多层膜中的所述第二层的一部分或全部具有导电性,在所述声响多层膜与所述第一电极层之间设置有绝缘层。

全文数据:

权利要求:

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