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申请/专利权人：武汉金信新材料有限公司

摘要：本发明涉及晶体制备技术领域，尤其涉及一种基于物理气相传输的智能长晶炉，包括：炉体；加热组件，用以按照预设的加热方式进行加热；保温结构，用以形成保温环境；坩埚体；导气组件，用以对所述第二腔体按照预设的导气方式进行导气；参数检测组件；长晶控制单元，用以根据所述参数检测组件的检测结果判断各加热方式是否具备启动条件以调整所述加热组件的加热方式，以及根据所述真空度检测组件检测到的所述第二腔体内部的真空度以及所述温度检测组件检测到的所述第二腔体内部预设测温位置的温度确定所述导气组件的导气方式。本发明能够提高晶锭均匀性，避免由于晶锭均匀性差导致的晶锭开裂问题。

主权项：1.一种基于物理气相传输的智能长晶炉，其特征在于，包括：炉体，包括炉盖以及炉壁，所述炉盖以及炉壁密封以形成第一腔体，所述炉盖上设有第一导气口；加热组件，其设置于所述第一腔体内部贴靠所述炉壁，用以按照预设的加热方式进行加热；其中，所述预设的加热方式包括预热模式、初期加热方式、中后期加热方式，各加热方式的加热功率不同；保温结构，其设置于所述第一腔体内部，且位于所述加热组件远离炉壁一侧，用以形成保温环境；坩埚体，其设置于所述第一腔体内部，且位于所述保温结构远离所述加热组件一侧，包括坩埚盖、坩埚壁和籽晶基片，所述坩埚盖以及所述坩埚壁密封以形成第二腔体，用以放置长晶原料，所述籽晶基片设置于所述坩埚盖内侧且与所述坩埚盖固定连接，所述坩埚壁设有第二导气口；导气组件，其用以对所述第二腔体按照预设的导气方式进行导气，所述预设的导气方式包括抽真空以及通入保护气体，所述导气组件包括导气管道和设置在导气管上的可控阀门，所述导气管道一端与所述炉盖上的第一导气口相连，另一端与所述坩埚壁上的第二导气口相连；参数检测组件，包括温度检测组件、气流检测组件、真空度检测组件，所述温度检测组件用于检测所述第二腔体内部预设测温位置的温度，所述气流检测组件用于检测所述第二腔体内部的气体流速，所述真空度检测组件用于检测所述第二腔体内部的真空度；长晶控制单元，其与所述参数检测组件相连，用以根据所述参数检测组件的检测结果判断各加热方式是否具备启动条件以调整所述加热组件的加热方式，以及根据所述真空度检测组件检测到的所述第二腔体内部的真空度以及所述温度检测组件检测到的所述第二腔体内部预设测温位置的温度确定所述导气组件的导气方式。

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