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申请/专利权人：深圳市海目芯微电子装备科技有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种碳化硅长晶坩埚，涉及长晶设备技术领域。碳化硅长晶坩埚包括坩埚主体、坩埚盖、原料支撑座、多孔石墨板和中继环；坩埚盖盖合在坩埚主体上，原料支撑座安装在坩埚主体内的底部，原料支撑座用于承载碳化硅粉料，使碳化硅粉料与坩埚主体的底面间隔设置，多孔石墨板设置在坩埚主体内、且位于原料支撑座的上方，中继环设置在多孔石墨板与坩埚盖之间，多孔石墨板用于使气体均匀地通过、并在坩埚盖上长晶。该碳化硅长晶坩埚能够改善碳化硅粉料烧焦的现象，提高原料利用率以及长晶的均匀性。
主权项：1.一种碳化硅长晶坩埚，其特征在于，所述碳化硅长晶坩埚包括坩埚主体1、坩埚盖2、原料支撑座4、多孔石墨板6和中继环5；所述坩埚盖2盖合在所述坩埚主体1上，所述原料支撑座4安装在所述坩埚主体1内的底部，所述原料支撑座4用于承载碳化硅粉料，使所述碳化硅粉料与所述坩埚主体1的底面间隔设置，所述多孔石墨板6设置在所述坩埚主体1内、且位于所述原料支撑座4的上方，所述中继环5设置在所述多孔石墨板6与所述坩埚盖2之间，所述多孔石墨板6用于使气体均匀地通过、并在所述坩埚盖2上长晶。
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权利要求：
百度查询： 深圳市海目芯微电子装备科技有限公司 一种碳化硅长晶坩埚
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