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申请/专利权人：张家港意发功率半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种蒸发台用坩埚切换装置，其包括：转盘、坩埚、升降机构、升降板、挡圈和挡板，所述转盘上间隔设置有与坩埚对应的安装槽，所述安装槽顶部设置有与挡圈对应的定位孔，所述坩埚设置在部分安装槽中，所述升降机构竖向设置在转盘一侧，所述升降板水平设置在升降机构顶部且前端延伸至转盘边缘上方，所述挡圈设置在升降板前端并位于其中一个安装槽上方，所述挡板可横移地设置在挡圈上方。本实用新型所述的蒸发台用坩埚切换装置，可以通过转盘的旋转进行坩埚的切换，并利用升降板的下降，使得挡圈落至对应坩埚上方的定位孔中，避免坩埚中金属颗粒蒸发至定位孔内壁，通过挡板前移至挡圈的通孔上方，实现对坩埚的开口自动覆盖。
主权项：1.一种蒸发台用坩埚切换装置，其特征在于，包括：转盘、坩埚、升降机构、升降板、挡圈和挡板，所述转盘上间隔设置有与坩埚对应的安装槽，所述安装槽顶部设置有与挡圈对应的定位孔，所述坩埚设置在部分安装槽中，所述升降机构竖向设置在转盘一侧，所述升降板水平设置在升降机构顶部且前端延伸至转盘边缘上方，所述挡圈设置在升降板前端并位于其中一个安装槽上方，所述挡板可横移地设置在挡圈上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张家港意发功率半导体有限公司 一种蒸发台用坩埚切换装置
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