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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本发明涉及蒸镀用坩埚技术领域，具体为一种蒸镀用自定位式坩埚，包括旋转坩埚本体，以及安装在旋转坩埚本体上方的下冷却板；所述旋转坩埚本体的下方安装有副旋转控制杆，所述上冷却板的左右两侧均安装有侧支撑板，侧支撑板的内部贯穿安装有定位组件；所述旋转坩埚本体的上方边缘处等间距安装有一圈定位凹槽。该蒸镀用自定位式坩埚内的旋转坩埚本体内开设有六个蒸发槽，每次蒸发完一个蒸发槽内的材料后，步进旋转，使得下一个蒸发槽旋转到蒸发口的正下方，这种方式可一次性镀六层材料，两组第一定位机构带动滚轴移动到对应的旋转坩埚本体上的两组定位凹槽内，便于对旋转后的旋转坩埚本体进行自定位，使蒸发槽的正好对准蒸发口。

主权项：1.一种蒸镀用自定位式坩埚，包括旋转坩埚本体（1），以及安装在旋转坩埚本体（1）上方的下冷却板（2）；所述下冷却板（2）的上方安装有上冷却板（3）；其特征在于，还包括；所述旋转坩埚本体（1）的内部等间距开设有一圈蒸发槽（101）；所述下冷却板（2）和上冷却板（3）内均开设有蒸发口（4），蒸发口（4）的下方正对着一个蒸发槽（101）；所述旋转坩埚本体（1）的下方安装有副旋转控制杆（5），副旋转控制杆（5）的下方外侧通过锥形齿轮组与主旋转控制杆（6）相连接；所述副旋转控制杆（5）的下端和主旋转控制杆（6）的外侧均安装在底板（7）上；所述上冷却板（3）的左右两侧均安装有侧支撑板（8），侧支撑板（8）的内部贯穿安装有定位组件；所述旋转坩埚本体（1）的上方边缘处等间距安装有一圈定位凹槽（12）；所述定位组件内的第一定位机构（9）靠近旋转坩埚本体（1）的一端外侧安装有滚轴（13），滚轴（13）插入到定位凹槽（12）内对旋转坩埚本体（1）进行自定位；所述旋转坩埚本体（1）的后侧设置有连接架（10），连接架（10）的前侧安装有控制组件，控制组件的前侧设置有定位组件，控制组件与侧支撑板（8）的外侧面滑动连接；下冷却板（2）和上冷却板（3）内均开设有冷却液流动道（301），下冷却板（2）和上冷却板（3）的外侧安装有冷却液循环管道；第一定位机构（9）的外端上方安装有移动柱（91），第一定位机构（9）与侧支撑板（8）的内部贯穿滑动连接，第一定位机构（9）的中部内部开设有通槽（93）；所述侧支撑板（8）的内部安装有限位杆（92），限位杆（92）插入在通槽（93）内，第一定位机构（9）的外侧套设有连接弹簧（94），连接弹簧（94）的一端与侧支撑板（8）的内部相连接；控制组件包括对称安装在连接架（10）前侧的第一控制板（11），第一控制板（11）的最低点高于第一定位机构（9）的最高点，第一控制板（11）的外侧面呈倾斜状设置，第一控制板（11）的外侧面与移动柱（91）贴合设置，移动柱（91）通过第一控制板（11）与侧支撑板（8）构成滑动结构；移动柱（91）和第一定位机构（9）二者构成“L”形状结构设置，第一定位机构（9）设置有两组。

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