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申请/专利权人：南京昀光科技有限公司
摘要：本发明公开了一种挡板装置及蒸镀系统，应用于显示面板有机材料的蒸镀工艺场景，挡板装置包括：挡板，挡板包括第一电极板和第二电极板；第一电极板围绕第二电极板设置；第一电极板和第二电极板的极性相反，第一电极板和第二电极板用于吸附在加热蒸镀源过程中产生的废料；电源，电源的第一输出端与第一电极板电连接，电源的第二输出端与第二电极板电连接；电源用于在第一电极板和第二电极板之间施加直流电压。本发明提供的挡板装置可以及时吸附废料，防止废料在加热过程中脱落从而污染腔室。
主权项：1.一种挡板装置，其特征在于，应用于显示面板有机材料的蒸镀工艺场景，所述挡板装置包括：挡板，所述挡板包括第一电极板和第二电极板；所述第一电极板围绕所述第二电极板设置；所述第一电极板和所述第二电极板的极性相反，所述第一电极板和所述第二电极板用于吸附在加热蒸镀源过程中产生的废料；电源，所述电源的第一输出端与所述第一电极板电连接，所述电源的第二输出端与所述第二电极板电连接；所述电源在所述第一电极板和所述第二电极板之间施加直流电压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京昀光科技有限公司 一种挡板装置及蒸镀系统
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