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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
摘要:本公开实施例提供蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板。蒸镀装置包括:蒸镀源,蒸镀源包括沿第一方向间隔排列的第二蒸镀源、第一蒸镀源及第三蒸镀源,第一蒸镀源蒸镀主体材料,第二蒸镀源和第三蒸镀源蒸镀客体材料,第二蒸镀区和第三蒸镀区位于第一蒸镀区内;待蒸镀基板被配置为相对于蒸镀源沿第一方向往复移动,发光材料层包括多个层叠的子发光材料层,子发光材料层包括层叠的第一子发光层、第二子发光层以及第三子发光层,第二子发光层位于第一子发光层和第三子发光层之间,第一子发光层的客体材料掺杂率和第三子发光层的客体材料掺杂率均大于第二子发光层的客体材料掺杂率。本公开的蒸镀装置制备发光材料层可以提升发光效率。
主权项:1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:蒸镀源,用于向待蒸镀基板蒸镀发光材料,所述蒸镀源包括沿第一方向间隔排列的第二蒸镀源、第一蒸镀源以及第三蒸镀源,所述第一蒸镀源用于向待蒸镀基板蒸镀主体材料,所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源用于向待蒸镀基板蒸镀客体材料,所述第二蒸镀源在待蒸镀基板上的第二蒸镀区和所述第三蒸镀源在所述待蒸镀基板上的第三蒸镀区均位于所述第一蒸镀源在待蒸镀基板上的第一蒸镀区内;所述待蒸镀基板被配置为相对于所述蒸镀源沿所述第一方向往复移动,所述蒸镀源向所述待蒸镀基板蒸镀的发光材料层包括多个层叠的子发光材料层,所述子发光材料层包括层叠的第一子发光层、第二子发光层以及第三子发光层,所述第二子发光层位于所述第一子发光层和所述第三子发光层之间,所述第一子发光层的客体材料掺杂率和所述第三子发光层的客体材料掺杂率均大于所述第二子发光层的客体材料掺杂率;其中,在所述第一方向上,所述第二蒸镀区和所述第三蒸镀区的内侧边界重合,所述第二蒸镀区的外侧边界和所述第一蒸镀区的一侧边界重合,所述第三蒸镀区的外侧边界与所述第一蒸镀区的另一侧边界重合。
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