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申请/专利权人：义乌清越光电技术研究院有限公司
摘要：本实用新型属于电池生产技术领域，公开电池蒸镀设备，包括用于承载待蒸镀样品的样品托盘、蒸镀坩埚和箱体组件，蒸镀坩埚用于容置待蒸镀物料，待蒸镀物料用于蒸镀待蒸镀样品；箱体组件包括箱体机构和可拆卸连接于箱体机构的保护罩，箱体机构内具有容置腔，箱体机构开设有连通容置腔的蒸镀口，蒸镀坩埚位于容置腔内且朝向蒸镀口，保护罩设置于容置腔内，保护罩两端贯通且上开口连通蒸镀口，保护罩罩设于蒸镀坩埚上方，以隔离箱体机构的内腔壁和蒸镀坩埚。本实用新型的电池蒸镀设备具有的保护罩能够隔离箱体机构的内腔壁和蒸镀坩埚，避免金属卤化物避免腐蚀内腔壁及形成的腔室污染，延长电池蒸镀设备的使用寿命，保证待蒸镀样品性能可靠。
主权项：1.电池蒸镀设备，包括样品托盘10，所述样品托盘10用于承载待蒸镀样品100，其特征在于，所述电池蒸镀设备还包括：蒸镀坩埚1，所述蒸镀坩埚1用于容置待蒸镀物料，所述待蒸镀物料用于蒸镀所述待蒸镀样品100；箱体组件2，所述箱体组件2包括箱体机构21和可拆卸连接于所述箱体机构21的保护罩22，所述箱体机构21内具有容置腔211，所述箱体机构21开设有连通所述容置腔211的蒸镀口212，所述蒸镀坩埚1位于所述容置腔211内且朝向所述蒸镀口212，所述保护罩22设置于所述容置腔211内，所述保护罩22两端贯通且上开口224连通所述蒸镀口212，所述保护罩22罩设于所述蒸镀坩埚1上方，以隔离所述箱体机构21的内腔壁213和所述蒸镀坩埚1。
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权利要求：
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