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申请/专利权人：宣城先进光伏技术有限公司
摘要：本发明公开了一种蒸镀装置，包括真空腔室、基板、第一蒸发源、蒸发分布件以及第二蒸发源，基板安装于真空腔室内；第一蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第一膜材蒸汽，且第一蒸发源具有第一出气孔；蒸发分布件与第一出气孔连通，蒸发分部件具有扩散部，扩散部的横截面积大于第一出气孔的表面积，扩散部上陈列分布若干排气孔，任意一个排气孔的开口方向均朝向基板设置，且任意一个所述排气孔与基板的间距均等于第一阈值，第二蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第二膜材蒸汽，第二蒸发源具有第二出气孔，第二出气孔的开口方向与任意一个排气孔的开口方向均相交。第一膜材蒸汽和第二膜材蒸汽均匀混合，从而在基板上形成均匀的薄膜。
主权项：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：真空腔室；基板，安装于所述真空腔室内；第一蒸发源1，安装于所述真空腔室内，用于产生第一膜材蒸汽，且所述第一蒸发源1具有第一出气孔；蒸发分布件2，与所述第一出气孔连通，所述蒸发分布件2具有扩散部，所述扩散部的横截面积大于所述第一出气孔的表面积，所述扩散部上阵列分布若干排气孔211，任意一个所述排气孔211的开口方向均朝向所述基板设置，且任意一个排气孔211与所述基板的间距均等于第一阈值；第二蒸发源，安装于所述真空腔室内，用于产生第二膜材蒸汽，所述第二蒸发源具有第二出气孔，所述第二出气孔的开口方向朝向所述基板设置，且所述第二出气孔的开口方向与任意一个所述排气孔211的开口方向均相交。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宣城先进光伏技术有限公司 一种蒸镀装置
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