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申请/专利权人：赛姆柯(苏州)智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种LPCVD碳化硅桨调节装置，包括基台、支撑机构、高度调节机构、旋转机构、摆动机构、微调机构，支撑机构包括第一支板、第二支板、第三支板及支撑座，第一支板包括纵板、横板，支撑座设置在横板上，支撑座用于固定碳化硅桨；高度调节机构与纵板连接用于调节支撑机构在竖直方向移动，旋转机构与纵板连接用于调节支撑机构在与纵板平行的竖直面旋转，摆动机构与第三支板连接用于带动第三支板与支撑座在第二支板上水平摆动，微调机构与支撑座、第三支板连接用于调节支撑座以竖直线为中心使其相对两端升降，支撑座的相对两端的运动方向相反。本实用新型提供的装置，快速准确调整碳化硅桨的位置，调整难度小，调整精度易控制。
主权项：1.一种LPCVD碳化硅桨调节装置，其特征在于，包括基台、支撑机构、高度调节机构、旋转机构、摆动机构、微调机构，所述的支撑机构包括第一支板、第二支板、第三支板以及支撑座，所述的第一支板包括纵板、与所述的纵板连接的横板，所述的纵板沿竖直方向延伸，所述的横板沿水平方向延伸，所述的第二支板设置在所述的横板上，所述的第三支板设置在所述的第二支板上，所述的支撑座设置在所述的横板上，所述的支撑座用于固定碳化硅桨；所述的高度调节机构设置在所述的基台一侧，所述的高度调节机构与所述的纵板连接用于调节所述的支撑机构在竖直方向移动，所述的旋转机构与所述的纵板连接用于调节所述的支撑机构在与所述的纵板平行的竖直面旋转，所述的摆动机构与所述的第三支板连接用于带动所述的第三支板与所述的支撑座在所述的第二支板上水平摆动，所述的微调机构与所述的支撑座、第三支板连接用于调节所述的支撑座以竖直线为中心使其相对两端升降，所述的支撑座的相对两端的运动方向相反。
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权利要求：
百度查询： 赛姆柯(苏州)智能科技有限公司 一种LPCVD碳化硅桨调节装置
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