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申请/专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及光伏材料加工技术领域，并提供一种图案化处理装置及相关方法。该图案化处理装置包括接地电极、激励电极以及电源。接地电极用于接收样品。激励电极位于接地电极用于接收样品的一侧。激励电极包括用于接收气体的匀气腔体。匀气腔体包括多个开口。电源与激励电极电连接，以向激励电极施加电压来激发匀气腔体内的气体产生等离子体。激励电极被设置为与样品的待处理表面的距离小于等于1mm，使得等离子体在多个开口的位置处被选择性通过，进而在待处理表面上形成与多个开口的图案相对应的图案化等离子体，来实现对待处理表面的图案化处理。
主权项：1.一种图案化处理装置，其特征在于，包括：接地电极，用于接收样品；激励电极，位于所述接地电极用于接收所述样品的一侧，所述激励电极包括匀气腔体，所述匀气腔体用于接收气体，所述匀气腔体包括朝向所述接地电极的底板，所述底板具有相对的内表面及外表面，所述外表面相较于所述内表面更靠近所述接地电极，所述底板开设有贯穿所述内表面和所述外表面的多个开口；以及电源，与所述激励电极电连接，以向所述激励电极施加电压来激发所述匀气腔体内的所述气体产生等离子体；其中，所述激励电极被设置为所述底板的所述外表面与所述样品的待处理表面的距离小于等于1mm，使得所述等离子体在所述多个开口的位置处被选择性通过，进而在所述待处理表面上形成与所述多个开口的图案相对应的图案化等离子体，来实现对所述待处理表面的图案化处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 图案化处理装置及相关方法
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