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申请/专利权人：日禺光学科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了高精度耐温型光学镜片的镀膜工艺，涉及光学镜片加工工艺领域，对光学镜片进行超声波清洗，去除表面的杂质和污染物；使用离子源对清洗后的光学镜片进行轰击处理，以提高镜片表面的活性；采用真空蒸发镀膜技术，在真空度为1×10^‑3‑5×10^‑3Pa的条件下，将镀膜材料蒸发并沉积在光学镜片表面，形成基础膜层；在基础膜层上，通过溅射镀膜技术镀制耐温膜层，溅射气体为氩气和氧气的混合气体，其中氧气的体积分数为10％‑20％；后处理：对完成抛光的光学元件进行全方位的清洗和高效的干燥处理，用于彻底清除残留的抛光液和杂质。本发明通过超声波清洗和离子源轰击处理，提高了镜片表面的清洁度和活性，有利于镀膜材料的均匀附着，从而提高了镜片的精度。
主权项：1.高精度耐温型光学镜片的镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：对光学镜片进行超声波清洗，去除表面的杂质和污染物，超声波清洗的时间设定为10-20分钟，清洗液为去离子水和乙醇的混合溶液，其中乙醇的体积分数为20％-30％；步骤二：使用离子源对清洗后的光学镜片进行轰击处理，以提高镜片表面的活性，离子源轰击处理的时间为5-10分钟，离子源的加速电压为500-800V；步骤三：采用真空蒸发镀膜技术，在真空度为1×10^-3-5×10^-3Pa的条件下，将镀膜材料蒸发并沉积在光学镜片表面，形成基础膜层，镀膜材料包含二氧化硅、二氧化钛和氟化镁；步骤四：在基础膜层上，通过溅射镀膜技术镀制耐温膜层，溅射气体为氩气和氧气的混合气体，其中氧气的体积分数为10％-20％，耐温膜层的材料为氧化铝或氧化铪；步骤五：后处理：对完成镀膜的光学镜片进行全方位的清洗和高效的干燥处理，用于彻底清除残留的抛光液和杂质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日禺光学科技(苏州)有限公司 高精度耐温型光学镜片的镀膜工艺
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