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申请/专利权人：中国科学院过程工程研究所;沧州华宇特种气体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种隔板反应精馏制备硅烷的方法，属于硅烷制备技术领域，三氯氢硅或二氯二氢硅或二者混合物从隔板反应精馏塔的隔板反应下段顶部进料，隔板两侧上升的气相汇于隔板上方的公共精馏段，隔板两侧下降的液相汇于隔板底部的公共提馏段，隔板上方的液相分配至隔板两侧；从塔顶得到纯度大于99.99wt％的硅烷，从塔釜得到纯度大于99.9wt％的四氯化硅；从隔板分离段的中下部采出二氯二氢硅和一氯三氢硅混合物，返回隔板反应上段顶部的循环物料进料口提升原料转化率和分离效率。
主权项：1.一种隔板反应精馏制备硅烷的方法，其特征在于，利用反应精馏和隔板精馏耦合的隔板反应精馏工艺制备硅烷。
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百度查询： 中国科学院过程工程研究所 沧州华宇特种气体科技有限公司 一种隔板反应精馏制备硅烷的方法
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