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申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本发明提供一种快速退火炉的复机方法，该方法包括：对快速退火炉的腔体加热功能进行校温；利用量产程序对快速退火炉进行空跑，后对用于退火炉复机的陪片沉积预设厚度的ITO膜层；将陪片一一摆放至快速退火炉的载盘上在设定条件下进行设定处理，以恢复退火炉内腔体的环境；重复预设次数将陪片一一摆放至快速退火炉的载盘上在设定条件下进行设定处理的步骤，后更换陪片再次在设定条件下进行设定处理直至陪跑完成。本发明解决了现有技术中快速退火炉校温方式导致腔体环境不稳定，加热灯负载过高失效，最后需要更换腔体，成本较高的问题。
主权项：1.一种快速退火炉的复机方法，其特征在于，所述方法包括：对快速退火炉的腔体加热功能进行校温；利用量产程序对所述快速退火炉进行空跑，后对用于所述退火炉复机的陪片沉积预设厚度的ITO膜层；将所述陪片一一摆放至所述快速退火炉的载盘上在设定条件下进行设定处理，以恢复所述退火炉内腔体的环境；重复预设次数所述将所述陪片一一摆放至所述快速退火炉的载盘上在设定条件下进行设定处理的步骤，后更换所述陪片再次在设定条件下进行设定处理直至陪跑完成。
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权利要求：
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