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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文所述的实施方式涉及制造钙钛矿膜装置的方法。该方法包括对在处理系统内的基板加热与除气；使用处理腔室内的多阴极溅射沉积在基板的表面上方沉积第一钙钛矿膜层，使用处理腔室内的多阴极溅射沉积在第一钙钛矿膜层上方沉积第二钙钛矿膜层；和对具有设置在基板上的第一钙钛矿膜层与第二钙钛矿膜层的基板退火。第一钙钛矿膜层包括第一钙钛矿材料。第二钙钛矿膜层包括第二钙钛矿材料。
主权项：1.一种制造钙钛矿膜装置的方法，包含：对处理系统内的基板加热与除气；使用处理腔室内的多阴极溅射沉积在所述基板的表面上方沉积钙钛矿膜层；和对具有设置在所述基板上的所述钙钛矿膜层的所述基板退火。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于制造PVD钙钛矿膜的设备及方法
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