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申请/专利权人：成都中云世纪科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种飞机起落架内孔耐磨自润滑涂层的制备方法，其步骤包括：将起落架内表面打磨、抛光至粗糙度到预设标准后除油清洗；将起落架放置在真空设备内，起落架接电源负极，真空室接电源正极，抽真空至5.0×10‑3Pa以下；通入氩气对起落架内表面进行氩等离子清洗；氩等离子清洗完成后，逐步通入氮气和氢气的混合气体或者氨气对起落架内表面氮化处理；逐步通入含碳气源，调节偏压和各气体气流量进行碳氮共渗处理以及非晶碳膜沉积；逐步减小直至关闭含氮气源流量，维持内孔空心阴极放电进行碳膜沉积，镀膜完成后出炉，其可以一步实现内表面镀膜，用渗入和沉积相结合的方法，大幅度提高膜层的结合力，沉积温度低，不会影响起落架强度。
主权项：1.一种飞机起落架内孔耐磨自润滑涂层的制备方法，其特征在于，其步骤包括：1）将起落架内表面打磨、抛光至粗糙度达到预设标准；2）将起落架进行除油清洗至水膜连续状态；3）将起落架放置在真空设备内，接电源负极，真空室接电源正极，抽真空至5.0×10-3Pa以下；4）通入氩气，控制真空室内压力1Pa-30Pa，打开加热开关使炉内温度升温到设定温度后打开电源开关，调节电源偏压、脉冲频率、脉冲宽度，使起落架内孔进行空心阴极放电产生氩等离子体对起落架内表面进行氩等离子清洗；5）氩等离子清洗完成后，逐步通入氮气和氢气的混合气体或者氨气，调节气压、电源偏压、脉冲频率、脉冲宽度和温度进行起落架内表面氮化处理，所述电源偏压为-2000V~-4000V；6）逐步通入含碳气源，进行氮碳化处理；7）逐步减小直至关闭含氮气源流量，维持内孔空心阴极放电进行碳膜沉积；8）关闭电源，关闭气体阀门，打开真空室放气阀门，待炉温降低后出炉。
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