龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种防溢流装置及供液装置，应用于湿法设备；所述溢流装置包括至少一个供液箱以及至少一个水封箱，所述水封箱与所述供液箱一一对应；所述水封箱用于防止所述供液箱溢流出的化学药液发生反应反流回所述供液箱；所述供液箱与对应的所述水封箱通过溢流管道连接；所述溢流管道的一端伸入所述水封箱，用于排放所述供液箱溢流出的化学药液；所述水封箱通过一一端伸入所述水封箱中的排污管道将所述水封箱中的废水排出；所述溢流管道伸入所述水封箱中的一端低于所述排污管道伸入所述水封箱内的一端。本实用新型中通过与供液箱一一对应的水封箱，可以防止供液箱溢流出的化学药液发生反应反流回供液箱，以提高供液箱中化学药液的品质以及纯净度。
主权项：1.一种防溢流装置，应用于湿法设备；其特征在于，所述溢流装置包括至少一个供液箱以及至少一个水封箱，所述水封箱与所述供液箱一一对应；所述供液箱与对应的所述水封箱通过溢流管道连接；所述溢流管道的一端伸入所述水封箱；所述水封箱通过一端伸入所述水封箱中的排污管道将所述水封箱中的废水排出；所述溢流管道伸入所述水封箱中的一端低于所述排污管道伸入所述水封箱内的一端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏启微半导体设备有限公司 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一种防溢流装置及供液装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号