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申请/专利权人：浙江美迪凯光学半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种去胶机方便更换导柱的载物盘，包括载物盘盘体，载物盘盘体中心连接转轴，所述载物盘盘体的外环面上沿圆周均匀设置有多个导柱，每个导柱的顶部平台上可拆卸安装有一个导柱帽，各导柱帽间形成用于夹紧限制晶圆的限制空间。本实用新型在导柱上增加导柱帽，导柱和导柱帽采用分体式设计，可通过只更换导柱帽实现磨损换件，大大节省了更换成本，且更换过程更方便；导柱和导柱帽通过螺杆和螺纹孔连接，导柱帽的尺寸和螺纹孔的位置配合晶圆尺寸设置，可适用多种尺寸的晶圆，适用范围广。
主权项：1.一种去胶机方便更换导柱的载物盘，包括载物盘盘体，载物盘盘体中心连接转轴，其特征是，所述载物盘盘体的外环面上沿圆周均匀设置有多个导柱，每个导柱的顶部平台上可拆卸安装有一个导柱帽，各导柱帽间形成用于夹紧限制晶圆的限制空间。
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权利要求：
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