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申请/专利权人：北京中科科美科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种放气速率测量系统及测量方法，具有第一容腔的工作模块、测量真空度的测量模块、输入气体的进气模块和抽除第一容腔内气体的真空获取模块，进气模块还可以测量输入气体的气体流量速率，本发明通过真空获取模块的持续抽气配合进气模块的供气或不供气两种情况下，均形成动态平衡状态，利用输入气体的气体流量速率和供气前后第一容腔的压力变换情况，计算获得工件的放气速率，本发明引入了输入气体的气体流量速率参数，相较于现有技术中需要真空泵的抽速参数或小孔的尺寸参数，本发明计算方式更加简洁，能快速获得结果，且引用的参数少，受到其他干扰因素小，结果更加准确。
主权项：1.一种放气速率测量系统，其特征在于，包括：工作模块1，具有第一容腔；测量模块2，与工作模块1连接，用于测量第一容腔内的真空度，获得真空数值；进气模块3，与工作模块1连接，用于向第一容腔内输入气体，获得输入气体的气体流量速率；真空获取模块4，与工作模块1连接，用于抽除第一容腔内气体；处理模块5，分别与测量模块2和进气模块3连接，包括第一公式和第二公式，用于接收真空数值和气体流量速率，并通过第一公式和第二公式获得工件的放气速率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科美科技股份有限公司 一种放气速率测量系统及测量方法
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