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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及光学器件精密制造技术领域，具体涉及一种改善垂直度的光栅复制装置及方法，装置具体包括激光器、半反半透镜、光栅搭载装置和显示平面，激光器用于发射激光束；半反半透镜倾斜设置于激光器的前方，半反半透镜用于对激光束进行分束以产生反射光线和透射光线；光栅搭载装置用于搭载母版光栅，光栅搭载装置设置于反射光线的方向上，以使反射光线能够发射到母版光栅的表面；显示平面设置于半反半透镜的前方，显示平面用于接收反射光线在母版光栅表面产生的衍射光和透射光线。由此，能够在复制光栅工艺过程中实时校正母版光栅的刻线与基准面是否垂直，并对母版光栅的多维度位姿进行调整，从而提高成品复制光栅的检测校正效率与合格率。
主权项：1.一种改善垂直度的光栅复制装置，其特征在于，包括：激光器1，所述激光器1用于发射激光束；半反半透镜2，所述半反半透镜2倾斜设置于所述激光器1的前方，所述半反半透镜2用于对所述激光束进行分束以产生反射光线和透射光线；光栅搭载装置3，所述光栅搭载装置3用于搭载母版光栅5，所述光栅搭载装置3设置于所述反射光线的方向上，以使所述反射光线能够发射到所述母版光栅5的表面；显示平面4，所述显示平面4设置于所述半反半透镜2的前方，所述显示平面4用于接收所述反射光线在所述母版光栅5表面产生的衍射光和所述透射光线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种改善垂直度的光栅复制装置及方法
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