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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及光学器件精密制造技术领域，具体公开了一种保证复制光栅过程中垂直度的装置与方法，包括光学平台、激光装置、分离夹具、反射装置和观测装置，光学平台沿水平方向设置；激光装置设置于光学平台上，用于发射激光；分离夹具沿第一方向设置于激光装置前方，用于夹持母版光栅，以使激光装置发射的激光能够照射到母版光栅；反射装置设置于光学平台上，用于反射母版光栅的反射光线，以使反射光线能够垂直照射回母版光栅；观测装置沿第一方向设置于分离夹具前方，用于观测母版光栅的各级次衍射光斑。由此，能够在不影响光栅复制过程和复制光栅指标的情况下，可靠稳定地提高光栅刻线与底面基准面之间的垂直度，简单便于操作。
主权项：1.一种保证复制光栅过程中垂直度的装置，其特征在于，包括：光学平台1，所述光学平台1沿水平方向设置；激光装置2，所述激光装置2设置于所述光学平台1上，所述激光装置2用于发射激光；分离夹具3，所述分离夹具3沿第一方向设置于所述激光装置2前方，所述分离夹具3用于夹持母版光栅6，以使所述激光装置2发射的激光能够照射到所述母版光栅6；反射装置4，所述反射装置4设置于所述光学平台1上，所述反射装置4用于反射所述母版光栅6的反射光线，以使所述反射光线能够垂直照射回所述母版光栅6；观测装置5，所述观测装置5沿第一方向设置于所述分离夹具3前方，所述观测装置5用于观测所述母版光栅6的各级次衍射光斑。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种保证复制光栅过程中垂直度的装置与方法
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