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申请/专利权人：西安工业大学
摘要：本发明涉及高集成光谱探测器件制造领域，具体涉及制备一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法。本发明提供的设计方式是：首先建立关于相对膜厚与变量的仿真模型，利用Mathcad15进行编程仿真，设计程序模拟热蒸发设备薄膜厚度分布，通过实验确定使用电子束热蒸发设备蒸发源的发射特性n；然后引入修正挡板函数，实现旋转球面蒸发系统的膜厚分布模拟，确定线性渐变滤光片所需要的初始修正挡板；最后使用石英晶振法监控膜厚，进行单层工艺试验优化出渐变线性滤光片的修正挡板。本发明通过仿真结合实验的方式，仅需3~4次即可获得符合要求的修正挡板，解决了以往修正挡板设计中需要进行多次的重复单层工艺实验的特点，降低了制造成本、提高了加工效率。
主权项：1.一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法，其特征在于，包括以下步骤：1建立相对膜厚与变量之间的仿真模型，利用Mathcad15进行编程仿真，设计程序模拟热蒸发设备薄膜厚度分布，通过实验确定使用电子束热蒸发设备蒸发源的发射特性n；2在相对膜厚与变量之间仿真模型中引入修正挡板函数,实现旋转球面蒸发系统的膜厚分布模拟，将镀膜机的夹具旋转速度、沉积特性蒸发特性n等参数导入Mathcad程序中，通过仿真模型确定线性渐变滤光片所需要的初始修正挡板；3使用石英晶振法监控膜厚，进行单层工艺试验优化出渐变线性滤光片的修正挡板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安工业大学 一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法
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