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申请/专利权人：昆山迈瑞凯精密工业有限公司
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种带负压反吹的吸盘，包括底板，装配于底板上、连通底板底部端面的进气盘，沿进气盘周向等分布设、且贯穿底板设置反吹孔，设于进气盘上、且沿进气盘周向等分布设于反吹孔上方的反吹组件，进气盘一侧设有进气口，通过进气盘上、且沿进气盘周向等分布设于反吹孔上方的反吹组件，能够实现利用反吹组件外接反吹气源配合反吹孔，实现吸取动作完成后的反吹动作，可拆卸的连接于进气盘上的反吹架能够方便反吹架的位置调整，反吹架延伸至反吹孔上方设置，能够提高反吹架的反吹工作覆盖面，更好的实现反吹处理。
主权项：1.一种带负压反吹的吸盘，其特征在于，包括底板，装配于底板上、连通底板底部端面的进气盘，沿进气盘周向等分布设、且贯穿底板设置反吹孔，设于进气盘上、且沿进气盘周向等分布设于反吹孔上方的反吹组件，所述进气盘一侧设有进气口；所述反吹组件包括可拆卸的连接于进气盘上的反吹架，所述反吹架延伸至反吹孔上方设置，且反吹架延伸至反吹口上方部分设于朝向反吹孔设置的反吹口，所述反吹架上设有反吹气头连接外部气源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山迈瑞凯精密工业有限公司 一种带负压反吹的吸盘
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