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摘要：一种光学邻近修正模型的建立方法及其系统、设备和存储介质，方法包括：获取进行模型计算所需的量规的目标数量；基于版图图形的特性，对待修正版图层中的版图图形进行分类，以得到多个图形组；根据待修正版图层的特性，确定各个图形组的量规的预设数量，且各个图形组的预设数量之和为目标数量；从各个图形组中选取出相对应的预设数量的量规；基于被选取出的所述量规进行模型计算，以得到模型结果。本发明实施例有针对性地确定各个图形组的量规的预设数量，因而光学邻近修正模型的精确度更高，而且可以直接获得精确度较高的光学邻近修正模型，可以避免进行多个量规批次的实验，从而简化了建立模型的复杂度，相应有利于缩短模型建立周期。
主权项：1.一种光学邻近修正模型的建立方法，其特征在于，包括：获取进行模型计算所需的量规的目标数量；基于版图图形的特性，对待修正版图层中的版图图形进行分类，以得到多个图形组；根据所述待修正版图层的特性，确定各个所述图形组的量规的预设数量，且各个所述图形组的预设数量之和为所述目标数量；从各个所述图形组中选取出相对应的所述预设数量的量规；基于被选取出的所述量规进行模型计算，以得到模型结果。
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百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 光学邻近修正模型的建立方法及其系统、设备和存储介质
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