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摘要：本公开提供一种成膜方法和基板处理装置，调整膜厚的面内分布。成膜方法是切换向处理容器内的基板供给的气体来在所述基板形成膜的成膜方法，在该成膜方法中，在从第一喷射器向所述处理容器内供给某一气体时，从与所述第一喷射器不同的第二喷射器向所述处理容器内供给被加热得比所述基板的温度热的稀释气体。
主权项：1.一种成膜方法，是切换向处理容器内的基板供给的气体来在所述基板形成膜的成膜方法，在所述成膜方法中，在从第一喷射器向所述处理容器内供给某一气体时，从与所述第一喷射器不同的第二喷射器向所述处理容器内供给被加热得比所述基板的温度热的稀释气体。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 成膜方法和基板处理装置
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