龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供一种测试结构以及TEM制样方法，测试结构包括：第一金属线、第二金属线以及通孔；第一金属线沿第一方向延伸，且多根第一金属线沿第二方向间隔排布；第二金属线沿第二方向延伸，且多根第二金属线沿第一方向间隔排布；第一金属线于部分交错点处通过通孔与第二金属线连接；其中，与通孔相邻的两根第二金属线在与通孔相对应的位置断开设置。如此配置，通过将与所述通孔相邻的两根所述第二金属线在与所述通孔相对应的位置断开设置，原本需要进行特殊制样的样品，可以变成常规样品，降低了制样的难度和分析成本；同时，在进行制样的过程中，操作人员能够根据截面结构的不同，判断目标金属线的位置，从而提高制样的成功率。
主权项：1.一种测试结构，其特征在于，包括：多根第一金属线、多根第二金属线以及多个通孔；所述第一金属线沿第一方向延伸，且多根所述第一金属线沿第二方向间隔排布；所述第二金属线沿所述第二方向延伸，且多根所述第二金属线沿所述第一方向间隔排布；多根所述第一金属线和多根所述第二金属线在第三方向上具有多个交错点；所述第一金属线于部分所述交错点处通过所述通孔与所述第二金属线连接；其中，与所述通孔相邻的两根所述第二金属线在与所述通孔相对应的位置断开设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 测试结构以及TEM制样方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号