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摘要：本发明涉及核电池技术领域与半导体器件制备技术领域，尤其是基于Si基微通道阵列的双效应核电池的制备方法及装置，包括以下步骤：S1、制备Si微孔结构；采用光刻结合电化学刻蚀法形成Si微孔结构；S2、使用食人鱼溶液对步骤S1制备的Si微孔结构表面做羟基化处理；S3、采用ALD法在步骤S2处理完成的Si微孔结构通道表面沉积ZnO层；S4、采用真空熔融法将闪烁体层填充至S3步骤处理过的微孔结构中；S5、在掩膜的覆盖下对应的负载金属电极；本方法通过ALD法可以实现原子级的薄膜沉积，包覆性极强，将ZnO沉积在刻蚀好的Si阵列中，形成立体的三维阵列，并在该阵列的孔道中填充CsI闪烁体，CsI辐致发光，然后在ZnOSi中实现光致发电，实现核能到电能的转换。
主权项：1.基于Si基微通道阵列的双效应核电池的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、制备Si微孔结构；采用光刻结合电化学刻蚀法形成Si微孔结构；S2、使用食人鱼溶液对步骤S1制备的Si微孔结构表面做羟基化处理；S3、采用ALD法在步骤S2处理完成的Si微孔结构通道表面沉积ZnO层；S4、采用真空熔融法将闪烁体层填充至S3步骤处理过的微孔结构中；S5、在掩膜的覆盖下对应的负载金属电极；S6、在S4步骤中填充闪烁体层上对应负载放射源层。
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百度查询： 广西电网有限责任公司电力科学研究院 基于Si基微通道阵列的双效应核电池的制备方法及装置
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