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摘要：本发明提供一种WPE效应的局域失配模型的提取方法，包括：于晶圆内形成不同阱尺寸的器件结构；测量获取同一裸片中相邻器件结构的各参数的值，其中，参数包括线性阈值电压、饱和阈值电压、线性电流及饱和电流；计算各参数的失配率；建立与阱尺寸相关的局域失配模型；对局域失配模型的参数进行曲线拟合，直至拟合结果与器件结构的各参数的失配率相符。通过本发明解决了现有的模型未考虑不同阱尺寸对器件失配特性的影响的问题。
主权项：1.一种WPE效应的局域失配模型的提取方法，其特征在于，所述方法包括：于晶圆内形成不同阱尺寸的器件结构，且所述晶圆包括多个裸片，所述器件结构形成有栅极、漏端及阱；针对多个所述裸片，测量获取同一所述裸片中相邻所述器件结构的各参数的值，其中，参数包括线性阈值电压、饱和阈值电压、线性电流及饱和电流，且所述线性阈值电压为于所述漏端施加第一电压时，所述漏端达到特定电流值时的栅极电压，所述饱和阈值电压为于所述漏端施加第二电压时，所述漏端达到所述特定电流值时的栅极电压，所述线性电流为于所述栅极施加所述第二电压且于所述漏端施加所述第一电压时的漏端电流，所述饱和电流为于所述栅极和所述漏端均施加所述第二电压时的漏端电流；计算各参数的失配率；建立与阱尺寸相关的局域失配模型；对所述局域失配模型的参数进行曲线拟合，直至拟合结果与所述器件结构的各参数的失配率相符；其中，各所述器件结构的沟道长度及沟道宽度均相同，所述第一电压小于所述第二电压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 WPE效应的局域失配模型及其提取方法
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