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摘要：本发明公开了一种基于光学干涉的自动定焦装置及方法，该装置包括：光源分束探测模块、光学延迟线模块、定焦成像模块和照明模块。该方法包括：获取样品的干涉信号并进行信号预处理，得到目标样品干涉信号；标定焦平面位置处的目标样品干涉信号的位置，得到标定的焦面位置干涉信号；基于标定的焦面位置干涉信号，当样品处于离焦位置时，计算离焦干涉信号位置与标定的焦面位置的差值，并驱动步进电机移动样品，完成光学干涉的自动定焦。本发明实施例能够通过低相干光干涉定位实现对焦，扩展长离焦复位工作距离，缩短自动对焦的时间与提升自动对焦的精度。本发明作为一种基于光学干涉的自动定焦装置及方法，可广泛应用于显微镜自动定焦技术领域。
主权项：1.一种基于光学干涉的自动定焦装置，其特征在于，包括光源分束探测模块、光学延迟线模块、定焦成像模块和照明模块，所述光源分束探测模块的第一端与所述光学延迟线模块连接，所述光源分束探测模块的第二端与所述定焦成像模块连接，所述定焦成像模块与所述照明模块连接，其中：所述光源分束探测模块用于对光源信号进行分束整形与探测处理，得到整形后的参考光束与整形后的测量光束；所述光学延迟线模块用于对整形后的参考光束进行旋转光程改变处理，获取参考反射光；所述定焦成像模块用于根据整形后的测量光束进行定焦与样品成像处理，得到测量反射光与样品成像；所述照明模块用于提供样品的成像照明光源。
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百度查询： 佛山大学 一种基于光学干涉的自动定焦装置及方法
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