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摘要：本发明提供一种用于金属催化非热等离子体反应装置、方法及应用，装置包括：等离子体反应单元，第一连接装置，第二连接装置，第三连接装置，第一磁控溅射单元和样品池，等离子体反应单元具有用于提供反应气体电离并碰撞结合成新化合物的容纳空间；第一连接装置、第二连接装置和第三连接装置设置于等离子体反应单元；第一磁控溅射单元设置于等离子体反应单元的容纳空间内；样品池设置于等离子体反应单元的容纳空间内。上述实施例的金属催化非热等离子体反应装置能够在比当前工业工艺低得多的温度进行等离子体反应；相比于同类型反应系统，本实施例的反应单元规模更大，同时处理反应物能力更强，显著地减少了平均反应能耗。
主权项：1.一种金属催化非热等离子体反应装置，其特征在于，包括：等离子体反应单元3，所述等离子体反应单元3具有用于提供反应气体电离并碰撞结合成新化合物的容纳空间；第一连接装置8，所述第一连接装置8设置于所述等离子体反应单元3，并用于连接反应物供给单元；第二连接装置11，所述第二连接装置11设置于所述等离子体反应单元3，并用于连接气质联用仪或者设置观察窗；第三连接装置5，所述第三连接装置5设置于所述等离子体反应单元3，并具有用于连接排气单元的第一出气口9、用于连接气体池的第二出气口10和用于连接气压传感器的第三出气口12；第一磁控溅射单元2，所述第一磁控溅射单元2设置于所述等离子体反应单元3的容纳空间内，用于放电产生等离子体和溅射产生金属粒子用于催化反应；样品池7，所述样品池7设置于所述等离子体反应单元3的容纳空间内，用于在所述容纳空间内引入挥发性的物种作为催化剂或者反应物的补充。
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百度查询： 中国科学院化学研究所 一种金属催化非热等离子体反应装置、方法及应用
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