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一种基于RC微分薄膜电路的超快氢气响应传感结构 

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摘要:本发明提供了一种基于RC微分薄膜电路的超快氢气响应传感结构,属于气体传感器技术领域,包括薄膜电阻型氢气传感单元、分压加热薄膜电阻、RC微分薄膜电路和四个引出电极,RC微分薄膜电路包含RC微分薄膜电容和RC微分薄膜电阻,RC微分薄膜电容包括第一电极、介电层和第二电极;其中,第一个引出电极通过分压加热薄膜电阻连接第一电极;第二个引出电极通过薄膜电阻型氢气传感单元连接第一电极;第三个引出电极为电压输出端,连接第二电极;第四个引出电极通过RC微分薄膜电阻连接第二电极。本发明根据一阶导数输出曲线的尖峰出现时刻以及尖峰值大小,实现氢气的快速响应和浓度检测,并极大提高气体快速响应系统的集成度,大大缩小系统的体积和功耗,适用于不同氢气检测需求的场景。

主权项:1.一种基于RC微分薄膜电路的超快氢气响应传感结构,其特征在于,包括薄膜电阻型氢气传感单元、分压加热薄膜电阻、RC微分薄膜电路和四个引出电极;所述RC微分薄膜电路包含RC微分薄膜电容和RC微分薄膜电阻;所述RC微分薄膜电容包括第一电极、介电层和第二电极;其中,第一个引出电极通过分压加热薄膜电阻连接至第一电极;第二个引出电极通过薄膜电阻型氢气传感单元连接至第一电极;第三个引出电极为电压输出端,连接至第二电极;第四个引出电极通过RC微分薄膜电阻连接至第二电极。

全文数据:

权利要求:

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