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摘要：本文中公开了涉及量测装置和相关联的方法的实施例，该量测装置和相关联的方法用于使用固定传感器510，530，610组件并行地对设置在基板550，650上的多个目标例如，对准标记进行成像，该固定传感器组件与可更换光学路由组件520，620，720相结合提供电气、光学和机械连接。可更换光学路由组件520，620，720允许目标对准标记以任何期望配置放置在现场。
主权项：1.一种用于对设置在基板上的多个目标进行成像的量测系统，所述量测系统包括：检测模块；以及可更换路由组件，光耦合到所述检测模块，并且包括多个路由元件，并且其中所述基板被配置为相对于所述可更换路由组件被移动，使得所述多个路由元件中的每个路由元件的第一端被配置为覆盖所述多个目标中的一个目标，并且所述多个路由元件中的每个路由元件的第二端光耦合到所述检测模块。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 具有用于并行光学检测的可配置印刷光学路由的量测设备
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