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改善基材和弹性材料层之间的附着力的结构及相应方法 

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摘要:本发明系关于改善基材和弹性材料层之间的附着力。执行电浆增强化学气相沉积PECVD以在基板上沉积硅化合物层。硅化合物层的表面形成弹性材层。透过该方法形成的物体object可以包括基板、基板上的硅化合物层和硅化合物层表面上的弹性材料层。透过具有表面粗糙度和厚度的硅化合物层,可以显着提高基板和弹性材料层之间的粘附性。

主权项:1.一种改善基材和弹性材料层之间的附着力的结构,包括:基板;硅化合物层形成于该基板上,该硅化合物层的表面粗糙度以Ra为单位,介于50nm和600nm之间;以及弹性材料层位于该硅化合物层的一表面上。

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