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一种离子束束径动态约束调节装置及其参数优化方法 

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摘要:本发明公开了一种离子束束径动态约束调节装置,包括安装架、以及依次且同轴设置在安装架上的第一离子束通道、第二离子束通道和第三离子束通道,第一离子束通道和第三离子束通道均呈圆柱形,第二离子束通道呈锥形,安装架于第一离子束通道的周侧设有第一电透镜组件、于第三离子束通道的周侧设有第二电透镜组件。还公开了一种离子束束径动态约束调节装置的参数优化方法。本离子束束径动态约束调节装置,能满足产生小束径离子束要求,适应性好,既使束径连续调节,又降低离子束流能量损耗。本离子束束径动态约束调节装置的参数优化方法,便于确定离子束束径动态约束调节装置的相关参数及验证和制备最合理的离子束束径动态约束调节装置。

主权项:1.一种离子束束径动态约束调节装置,其特征在于:包括安装架(1)、以及依次且同轴设置在安装架(1)上的第一离子束通道(2)、第二离子束通道(3)和第三离子束通道(4),所述第一离子束通道(2)和第三离子束通道(4)均呈圆柱形,且所述第一离子束通道(2)的直径比第三离子束通道(4)的大,所述第二离子束通道(3)呈锥形,且所述第二离子束通道(3)的大口径端与第一离子束通道(2)的出口端连通、小口径端与第三离子束通道(4)的进口端连通,所述第二离子束通道(3)的大口径端的内径比第一离子束通道(2)的小、小口径端的内径比第三离子束通道(4)的小,所述安装架(1)于第一离子束通道(2)的周侧设有用于改变离子轨迹实现束径调节的第一电透镜组件(5)、于第三离子束通道(4)的周侧设有用于改变离子轨迹实现束径调节的第二电透镜组件(6)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国人民解放军国防科技大学 一种离子束束径动态约束调节装置及其参数优化方法

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