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摘要：本发明属于声发射传感器技术领域，尤其涉及基于压电式微机械超声换能器的声发射传感器及制作工艺，包括外壳、信号调理电路、压电薄膜芯片、匹配层以及引线，所述信号调理电路、压电薄膜芯片和匹配层置于外壳内，所述外壳上开设通孔，所述引线通过通孔连通外壳内信号调理电路和外界；所述压电薄膜芯片置于信号调理电路上并与信号调理电路连通，所述匹配层包覆压电薄膜芯片和信号调理电路。本发明能够解决现有声发射传感器在实际应用时存在体积大、成本高、灵敏度低的问题。
主权项：1.基于压电式微机械超声换能器的声发射传感器，其特征在于：包括外壳、信号调理电路、压电薄膜芯片、匹配层以及引线，所述信号调理电路、压电薄膜芯片和匹配层置于外壳内，所述外壳上开设通孔，所述引线通过通孔连通外壳内信号调理电路和外界；所述压电薄膜芯片置于信号调理电路上并与信号调理电路连通，所述匹配层包覆压电薄膜芯片和信号调理电路。
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百度查询： 重庆大学 基于压电式微机械超声换能器的声发射传感器及制作工艺
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