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摘要：本申请提出一种用于碳化硅外延设备的吊装调整治具及调整方法。该调整治具包括平台部、安装部及连接件，该平台部与安装部相对配置，并通过连接件连接。该安装部呈环状，其周向上间隔的设置有复数连接部，该连接部用于与设备上的锁紧杆连接，使得调整治具可靠的悬吊于碳化硅外延设备内。该连接件配置成长度可调，这样调整该连接件并参考水平仪使得平台部处于水平状态，便于测温装置的放置。
主权项：1.一种用于碳化硅外延设备的吊装调整治具，其特征在于，包括：平台部、安装部及连接件，所述安装部呈环状，其周向上间隔的设置有复数连接部，所述连接部用于与设备上的锁紧杆连接，所述连接件配置成长度可调，所述平台部与安装部相对配置，并通过连接件连接。
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百度查询： 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 一种用于碳化硅外延设备的吊装调整治具及调整方法
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