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一种改善TFT和ITO玻璃减薄过程中大型抛光垫易糊盘的稀土抛光剂 

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摘要:本发明公开的一种改善TFT和ITO玻璃减薄过程中大型抛光垫易糊盘的稀土抛光剂,涉及玻璃抛光材料制备技术领域。其包括以下重量份的原料:稀土抛光粉100、粘土1‑4、磷酸盐1‑3、马来酸丙烯酸共聚物钠盐1‑3。具有无泡、不易糊盘、使用方便、切削率持久性好、且适合TFT和ITO玻璃应用大型抛光机台进行减薄抛光等特点,适用于大型光学和面板玻璃减薄加工抛光,尤其是在应用大型抛光机台的TFT和ITO玻璃减薄领域。

主权项:1.一种改善TFT和ITO玻璃减薄过程中大型抛光垫易糊盘的稀土抛光剂,其特征在于,包括以下重量份的原料:稀土抛光粉100粘土1-4磷酸盐1-3马来酸丙烯酸共聚物钠盐1-3;其中,所述粘土为高岭土、膨润土、蒙脱土的一种或几种,其粒度D50为1-3μm,D100为13.54μm以下,大颗粒800ppm以下,当为两种或三种时,各组分的配比为等重量份;优选化妆品级的膨润土;所述磷酸盐为正磷酸钠、三聚磷酸钠的一种或两种,当为两种时,各组分的配比为等重量份;优选食品级的三聚磷酸钠;所述马来酸丙烯酸共聚物钠盐的平均分子量为20000-30000;所述稀土抛光粉符合《GBT20165-2012》标准,且其粒度D50为0.8-2.0μm。

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