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摘要：本发明属于激光加工领域，公开了一种用于玻璃基底改质的光学系统和激光加工方法，其中，用于玻璃基底改质的光学系统包括：包括：激光器、第一反射模块、扩束模块、4F光学系统、DOE镜片、第二反射模块和聚焦模块；第一反射模块用于放大和反射激光器发射的激光束，扩束模块用于将第一反射模块反射出的激光束的尺寸调整到指定倍数，并射入到4F光学系统；4F光学系统用于调整激光束的光斑形状和能量分布；DOE镜片用于将经过所述4F光学系统调整后的高斯光斑整形为平顶光斑；第二反射模块用于将平顶光斑反射到聚焦模块，经过聚焦模块将激光束聚焦成指定大小并作用于待改质的玻璃基底上。本申请能产生均匀的加工通孔，提升成品电连接的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种用于玻璃基底改质的光学系统，其特征在于，包括：激光器、第一反射模块、扩束模块、4F光学系统、DOE镜片、第二反射模块和聚焦模块；其中，所述第一反射模块和所述扩束模块依次设置在所述激光器沿激光传播方向的一侧，所述第一反射模块用于放大和反射所述激光器发射的激光束，所述扩束模块用于将所述激光束的尺寸调整到指定倍数，然后射入到4F光学系统内；所述4F光学系统设置在所述扩束模块沿激光传播方向的一侧，用于调整激光束的光斑形状和能量分布；所述DOE镜片和所述第二反射模块依次设置在所述4F光学系统沿激光传播方向的一侧，所述DOE镜片用于将经过所述4F光学系统调整后的高斯光斑整形为平顶光斑；所述第二反射模块用于将所述平顶光斑反射到聚焦模块，经过所述聚焦模块将所述激光束聚焦成指定大小并作用于待改质的玻璃基底上。
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百度查询： 深圳市韵腾激光科技有限公司 用于玻璃基底改质的光学系统和激光加工方法
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