龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明属于材料制备技术领域，公开了一种基于磁控溅射的ErDx制备方法及产品，将磁控溅射设备的2真空抽至低于2×10‑3Pa，然后通入Ar气；在Ar气条件下，对铒靶进行预溅射；预溅射结束后，控制Ar气和D2气的总气压为0.3‑1.0Pa，并且D2气与Ar气的流量比在2:3‑4:3；控制溅射电源对铒靶进行溅射，至基底上的ErDx达到设定厚度，得到ErDx薄膜。本发明基于磁控溅射技术，通过控制气体流量和溅射功率便可实现ErDx的制备，能够提升氘化物中氘的含量，且极大降低含氧量，提高了制备效率，适于在本领域内推广使用。
主权项：1.一种基于磁控溅射的ErDx制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1将磁控溅射设备的真空抽至低于2×10-3Pa，然后通入Ar气；S2在Ar气条件下，对铒靶进行预溅射；S3预溅射结束后，控制Ar气和D2气的总气压为0.3-1.0Pa，并且D2气与Ar气的流量比在2:3-4:3；S4控制溅射电源对铒靶进行溅射，至基底上的ErDx达到设定厚度，得到ErDx薄膜；所述溅射电源为脉冲电源或射频电源；当溅射电源为脉冲电源时，控制其电流为100-500mA、匹配电压为300-550V、占空比为30％-100％；当溅射电源为射频电源，控制其功率为150-300W。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川大学 基于磁控溅射的ErDx制备方法及产品
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号